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螺杆真空泵工作原理分析
点击次数:2451 发布时间:2013-03-26
  螺杆式真空泵与螺杆式压缩机的工作原理相同。国内外均有市销产品,特别适用于化工、制药、航天航空等需要清洁抽气的环境。其基本结构有两种:
  
  (1)螺杆式真空泵在螺杆式压缩机中,螺旋转子的螺旋圈数在1圈以上,而螺杆真空泵的螺旋转子的螺旋圈数在2圈以上。这样可以减少返流量,提高压缩比。单级泵可从泵105Pa的极限压力,通常抽数为60-120m3/h.螺杆式真空泵的工作原理如图2-87所示。
  
  (2)矩形螺旋式真空泵,它由矩形段面的右螺旋和左螺旋的一对转子相啮合,由同步齿轮带动实现非接触式的高速运转,气体有上侧进入,在泵腔内压缩,由转子下端排除,转子旋转一周排气一次。由于转子和泵体内形成一种螺旋密封结构,矩形断面间隙泄露较少,加上它的螺旋圈数多,故可以得到比螺杆式泵较高的压缩比。这种泵可以从105Pa抽到极限压力10-1Pa,通常抽速为40-80m3/h.。矩形螺旋真空泵原理示意图如图2-88所示。
  
  (3)目前国外出现了变螺距的设计,提高了效率、降低了排出气体的温度。此类型的泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为130Pa,而其极限真空可达1.3Pa,抽数从120-2700m3/h。
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